宋代慈雲遵式所集《金光明懺法補助儀》將儀式開合為十科:「一者嚴治淨室,二者清淨三業,三者香華供養,四者召請持咒,五者讚歎述意,六者稱名奉供,七者禮敬三寶,八者修行五悔,九者旋繞自歸,十者唱誦經典。」現今在佛光山派下各道場所做的供佛齋天中,程序與內容大約如下:(依「華山齋天科儀」)
一、嚴淨潔壇:灑淨的儀式,約計一個小時圓滿,主要於誦持大悲咒時,依次到各席位去灑淨,此時不論桌上、下、坐椅、四境都要以楊枝沾淨水灑之,壇場內外各角落亦不忽視。接後祝禱世界和平,將此嚴淨壇場的功德迴向給護法龍天、三界嶽瀆靈聰、守護伽藍等。
二、請聖:齋信隨同和尚禮拜,以最虔誠的心,一一讚歎三寶和諸天的功德,並且為祂們安座,由齋信奉上果點、茗茶、毛巾等,最後回到佛前唱讚和迴向,大眾回寮,等待敬獻齋品。
三、獻齋:即所謂上菜。殿堂上只有侍席、捧盤和齋信。獻齋的一舉一動都要聽候鐘令,不能有絲毫馬虎。六菜(或八菜)、一飯一湯、箸、毛巾等一道道獻上。
四、上供:唱讚後隨木魚三誦齋佛儀,二十一誦變食真言,無數遍甘露水真言,並讀文疏,唱讚回向。上供至此結束。
五、送聖:緊接於回向偈之後,持消災延壽藥師佛名號,繞佛經行至丹墀焚化文疏,並持心經、往生咒、送聖讚,最後回壇,齋主禮拜和尚與法師,供佛齋天法會即告圓滿功德。可收下所有供品,一一分贈齋信同家人共沾法喜。